MEMS压电麦克风
摘要: 压电材料压电材料是指受到压力作用在其两端面会出现电荷的一大类单晶或多晶的固体材料，它是进行能量转换和......
压电材料 压电材料是指受到压力作用在其两端面会出现电荷的一大类单晶或多晶的固体材料，麦克风防尘透气产品它是进行能量转换和信号传递的重要载体。最早报道材料具有压电特性的是法国物理学家居里兄弟，1880年他们发现把重物放在石英晶体上，晶体某些表面会产生电荷，电荷量与压力成正比，并将其成为压电效应。由于压电材料具有优异的机电耦合效应，可以快速响应外力，因此，将压电陶瓷作为压电换能材料使得麦克风领域开创了新纪元。压电式麦克风克服了电容式麦克风的缺点。压电麦克风采用单层膜设计，制备工艺更为简单，结构上没有空气域，不受空气阻尼的影响，防水防尘并且不需要极化电压，具有低功耗的优点 压电效应： 压电效应：如果对压电材料施加压力，它便会产生电位差（称之为正压电效应），反之施加电压，则产生机械应力（称为逆压电效应）。 正压电效应常用的产品，打火机，麦克风，地质传感器等 逆压电效应常用的产品，蜂鸣器，打印机头，光学调焦等 压电MEMS麦克风结构 能耗低：压电式麦克风不需要高的偏压从而使得后续处理电路的结构简单，在语音智能产品中，压电式MEMS麦克风处于“永久监听”（always listening）模式时，比电容式麦克风节省3-10倍的电力消耗。 高AOP：152dB@THD10%（某款性能） 快速启动：200微秒 防水防尘性能：IP57 不需要贴各种防水膜，声音质量提高。 压电声学传感器代表厂商为美国Vesper公司，Vesper是来自密歇根大学的Bobby Littrell和Karl Grosh于2000年创立，总部位于美国马塞诸塞州波士顿，是一家私人持有的MEMS初创公司。Vesper产品采用的是压电式技术。在潜心解决了氮化铝（AlN）薄膜淀积技术和一系列其它关键技术难题后，Vesper公司于2014年组建了工程团队并在代工厂投放了产品。 介绍Vesper产品中比较有特点的一款 VM2020 Features ? Ultra-high AOP ? Differential output ? Ultra-Fast Startup Time, 200μSec ? Low part-to-part variation ? High dynamic range ? Dust and water resistant to IP57 Typical Applications ? Subwoofers ? Echo Cancellation ? Outdoor Applicatio Key ParametersSpecificationOutput Type AnalogDifferentialSensitivity-63 ± 3 dBV/PaSignal-to-noise ratio (SNR)20Hz – 20kHz 50 dB (A)Acoustic Overload Point (10% THD)152 dB SPLCurrent Consumption248 μARoll Off Frequency80HzStartup Time200 μSecPackage Size3.76 x 2.95 x 1.3 mmStatusIn Mass Production 
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